Mikro-Computertomographie (µCT): Scans haben eine gemessene (MTF, BSR oder LSF) räumliche Auflösung zwischen 2 µm (250 lp/mm) und 50 µm (10 lp/mm). Das Fraunhofer EZRT betreibt viele µCT Scanner, v.a. für Anwendungen in der Materialcharakterisierung und Metrologie. Jeder Scanner besitzt eine Mikrofokus-Röntgenquelle mit variabler Spannung und Spotgröße. Typische Scanzeiten reichen von einer Minute bis zu 2 Stunden. Die geometrische Objektvergrößerung ist kontinuierlich zwischen 2x und 50x einstellbar. Flatpanel Detektoren (FPDs) dienen als Standard-Detektor (50 µm bis 200 µm Pixelkante), manche Scanner nutzen CCD Detektoren mit kleineren Pixeln (9 – 24 µm).